今年以来,光刻机国产化不断提速。人民财讯11月26日报道,11月25日,上海芯上微装科技股份有限公司再传捷报,公司自主研发的首台350nm步进光刻机正式完成出厂调试与验收,启程发往客户现场,标志着我国在高端半导体光刻设备领域再次实现关键突破。
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