北方华创发布国产12英寸双大马士革CCP刻蚀机
2024年03月15日
【摘要】近日，北方华创正式发布新品——12英寸电容耦合等离子体介质刻蚀机AccuraLX，该机台主要覆盖逻辑领域多个技术节点中以AIO(双大马士革刻蚀工艺)、Contact(接触孔)为代表的关键介质刻蚀制程，并可扩展到存储领域的CMOS(互补金属氧...
近日，北方华创（002371, 311.75, 1.77%）正式发布新品——12英寸电容耦合等离子体介质刻蚀机Accura LX，该机台主要覆盖逻辑领域多个技术节点中以AIO 、Contact 为代表的关键介质刻蚀制程，并可扩展到存储领域的CMOS 相关制程，适用于Low-K介质及常规介质材料的刻蚀工艺。
北方华创(002371)涨1.77%，报311.75元。换手率0.54%。
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