旭光电子 孙公司收到国家重点研发计划课题任务书

【摘要】课题简介：针对我国半导体行业对高精度静电吸盘国产化的迫切需求，系统开展12英寸晶圆用大尺寸辅热型氮化铝静电吸盘结构设计、陶瓷材料热学和电学性能协同调控、辅热型静电吸盘制造技术、静电吸盘性能测试表征技术等多方面的研究，突破静电吸盘仿真结构设计...

课题简介：针对我国半导体行业对高精度静电吸盘国产化的迫切需求，系统开展12英寸晶圆用大尺寸辅热型氮化铝静电吸盘结构设计、陶瓷材料热学和电学性能协同调控、辅热型静电吸盘制造技术、静电吸盘性能测试表征技术等多方面的研究，突破静电吸盘仿真结构设计、热导率和电阻率可调的组分设计、电介质层和加热层共烧致密化，温度和吸附力均匀性测试等多项关键技术，实现高温度均匀性和高吸附均匀性氮化铝静电吸盘样件的制备，并且完成在半导体制程模拟装置中的示范应用，建立中试生产线，为国产化高性能氮化铝静电吸盘的产业化应用和发展奠定基础。

旭光电子(600353)跌1.33%收盘，报6.67元。全天成交98565手，成交金额6569万元。其中主力资金净流出1143.01万元。全天换手率1.19%。