机器人 公司半导体装备业务产品主要为真空机械手及集束型设备
2023年09月12日
【摘要】机器人9月12日在互动平台回答投资者提问时表示,公司半导体装备业务产品主要为真空机械手及集束型设备,包括:大气机械手、真空机械手等系列产品、EFEM、真空传输平台,主要应用于刻蚀、薄膜沉积、离子注入等工艺环节及领域,广泛服务于硅片生产、晶圆...
机器人(300024, 11.11, 2.02%)9月12日在互动平台回答投资者提问时表示,公司半导体装备业务产品主要为真空机械手及集束型设备,包括:大气机械手、真空机械手等系列产品、EFEM、真空传输平台,主要应用于刻蚀、薄膜沉积、离子注入等工艺环节及领域,广泛服务于硅片生产、晶圆加工、先进封装及封装测试等半导体制造全产业链。公司服务的下游行业是半导体工艺设备厂商。
机器人(300024)涨2.02%,报11.11元。换手率2.86%。
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